国家863课题验收暨项目鉴定会在永利官网举办

9月22日，科技部高技术中心组织国家863专家组对永利官网张文栋教授主持的863课题“具有环境控制功能的典型微纳传感器多参数批量测试设备研发与应用”进行验收，并进行项目鉴定。该课题永利官网为总体承担单位，合作单位为苏州汇博机器人技术有限公司、上海芯敏微系统技术有限公司、昆山光微电子有限公司、武汉飞恩微电子有限公司、苏州中盛纳米科技有限公司。

9月22日，科技部高技术中心组织国家863专家组对永利官网张文栋教授主持的863课题“具有环境控制功能的典型微纳传感器多参数批量测试设备研发与应用”进行验收，并进行项目鉴定。该课题永利官网为总体承担单位，合作单位为苏州汇博机器人技术有限公司、上海芯敏微系统技术有限公司、昆山光微电子有限公司、武汉飞恩微电子有限公司、苏州中盛纳米科技有限公司。

会上，科技部高技术中心主任刘进长介绍了验收要求及专家组成，省科技厅主任李蕾介绍了项目鉴定要求。校党委副书记沈兴全代表永利官网对课题验收暨项目鉴定会致辞，对科技部、省科技厅及相关专家的到来表示热烈的欢迎。

桑胜波教授代表课题组就项目的完成情况、推广应用、经济与社会效益、人才培养等方面进行了全面汇报。该项课题以支撑我国具有自主知识产权的MEMS器件产业化为目标，开展可变环境加载、多路气密自动对准、静动加载平台隔离、圆片级测试与精密自动控制等关键技术，研制出4类新装备，示范应用6套以上。研究成果解决了我国MEMS传感器大批量测试的快速、准确、稳定及成本等问题，具有显著的实用价值和市场前景，顺利通过了验收。项目研究成果填补了国内空白，部分技术达到国际先进水平。